近日,由上海市总工会、上海市知识产权局、共青团上海市委员会、上海市科学技术协会和上海发明协会等多个部门联合举办的第三十四届上海市优秀发明选拔赛获奖项目正式揭晓。
上海汉虹精密机械有限公司报送的《12英寸半导体单晶炉》项目,荣获优秀发明金奖!
该设备可以做到在保证晶体质量的同时提高稳定性,实现了稳定高效生产12英寸半导体单晶硅棒的目标,以此来满足集成电路中大尺寸高精尖半导体材料的市场需求。
至2005年4月汉虹首台单晶炉开始组立以来,汉虹不断改革创新,特别从8英寸半导体单晶炉到12英寸半导体单晶炉,更是收获两届优秀发明金奖,这也是对汉虹在单晶炉研发制造能力上最好的肯定。

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